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洁净室洁净度如何测试?

发布时间2022-07-22        浏览次数:100

测前准备:

1竣工图面(初版)与相关规范确认。

2)洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。

3)测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡,并已连续运转24小时以上。(包含新风空调箱单机试运转完成,FFU、风机盘管单机运转测试完成,自动控制完成且可监控,排气系统测试单机测试运转完成。)

4)洁净室环境需清洁完成。

5)测试进行时业主或监造单位应有代表在场,现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。

测试目的:此检测动作在于确认无尘室洁净度等级是否达到设计要求。

法规依据:参考NEBB第二版无尘室测试程序标准,ISO 14644-1:1999(E),无尘室空气洁净分类。

测试仪器:颗粒测试仪(品牌 MET ONE),型号:341334153445HHPC3+PMS型号:110

测试位置:测量点数不得少于每个洁净室面积的根号,另针对业主要求局部增加测试点数,详细测试点位置见图纸。

测试步骤:a.确定滤网平均风速及滤网泄漏记录均已完成测试,且天花板、地板、墙板等工程之收边均已完成,才可开始环境微粒子测试。

b. 确认测试点及配置图编号。

c. 测量点之周围3m半径内无障碍和污染源。

d. 距离地板上1.2m高度固定微粒子计数器之取样头测量。

e. 每一测量点均测量一分钟,取平均值为测量值。

合格标准:ISO Class 2: 100 count/ m³ @ 0.1µm & greater

          ISO Class 5: 10,200 count/ m³ @ 0.3µm & greater

 ISO Class 6: 02,000 count/ m³ @ 0.3µm & greater 35,200 count/ m³ @ 0.5µm & greater

 ISO Class 7: 352,000 count/ m³0.5µm & greater