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洁净室定义与测试规范概述

发布时间2021-09-13        浏览次数:12

洁净室定义与测试规范概述

      洁净室的定义,早是在美国联邦标准209上出现,之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。到了90年代后期,产业界体认到若是无共同标准,就不能实现经济的化,于是有ISO-14644的产生。以下说明洁净室的各种标准与规范。

  Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美国联邦标准209E,209的出版发行,是在1960年代,之后不断改版以因应科技与工业发展,版本从原始的209、209A,一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日,美国正式宣布废止209E,改用ISO-14644,于是209E在书面上走入历史。但是在产业界,除了部份的欧洲公司之外,美国、日本、中国台湾、与中国大陆,都还沿用209E。

  ISO-14644系列;美国政府为了推动经济化,就很大方的放弃了自己的209E,改而推行全部使用公制的标准ISO-14644。14644系列有8个子题,称为14644-1,14644-2,一直到14644-9。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等,范围很广。

  JIS B9920 (1989):日本的洁净标准,规定洁净室中浮游粒子的浓度测定方式,及洁净度的等级定义。

  VDI 2083 (1993):德国的洁净标准,规定洁净度等级的定义方式,以及洁净度的量测技术。

  Gost-R 50766 (1995):俄国的洁净标准,定义洁净室的分类与一般需求。

  以上是洁净室等级规定,与洁净度量测的相关标准。另外有关洁净室污染控制(也就是洁净度控制),和环境控制(如温湿度、震动噪音等),也有一些重要的测试规范,因为这些环境影响因素,都包含在洁净室性能测试的范围之内。

  IEST-RP-CC-006.2:这本有名的测试规范,目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测,006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的*版称为006-84-T,006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起,0062已经功成身退,逐渐消失了。

  NEBB 洁净室测试规范第二版:这是目前广为流行的测试规范,提到洁净室认证,就非 NEBB 莫属。NEBB 洁净室测试规范,可说是IEST-0062的改良版,其测试涵盖范围差不多,但是测试程序为清楚严谨,仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 洁净室测试规范的出现,解决了不少测试的争议,也因此 NEBB 洁净室测试规范成功的成为产业标准。 洁净www.jiejing。。org- MNxNhtbBSEeS*bvF

  ISO-14698 系列:14698 有三个子题,是有关生物污染的控制。

  每一种行业,甚至每公司或工厂,对洁净室的要求可能都不一样。