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微电子、食品、精密机械等行业中,尘埃粒子计数器的应用

发布时间2019-06-17        浏览次数:64

    尘埃粒子计数器是检测空气尘埃粒子颗粒的粒径及其分布的专用设备,由显微镜发展而来,经历了显微镜、沉降管、沉降仪、离心沉降仪、颗粒计数器、激光粒子计数器、纳米激光空气粒子计数器的过程,其中因激光空气粒子计数器具有检测速度快、动态分布较宽、不受人为影响等多方面的优势,而成为多年来众多行业的设备。来自光源的光线被透镜组聚焦于测量腔内,当空气中的每一个微粒快速的地通过测量腔时,会把入射光散射一次,形成一个光脉冲信号。这一光信号经过透镜组2被送到光检测器,正比地转换成电脉冲信号,再经过仪器电子线路的放大、甄别,拣出需要的信号,通过计数系统显示出来。
    在生物制药、微电子、食品、精密机械等行业中,需要严格控制洁净室的洁净度级别以满足相关标准和产品质量的要求。包括对各种洁净的工作台、洁净间的净化效果、洁净度级别进行监控与检测。确认是否满足洁净度等级,必须使用尘埃粒子计数器。
    尘埃粒子计数器的核心部件是光学系统及动力采样系统。由内部真空泵或外部采样泵以一定流量进行气体采样。当采样气体中的尘埃粒子通过激光光源等发生的光束时会发生光散乱现象,再通过光电变换器将光信号转变为脉冲信号,不同粒径的尘埃粒子产生的脉冲信号也不同,粒径越大得出该脉冲信号就越强,粒径越小产生的脉冲信号就越弱。通过统计单位时间内(采样时间≥1min)产生的不同脉冲信号的数量,即可得知不同粒径的尘埃粒子个数。 
    尘埃粒子计数器是用于测量洁净环境中单位体积内尘埃粒子数和粒径分布的仪器,从而为空气洁净度的评定提供依据。其基本原理是光学传感器的探测激光经尘埃粒子散射后被光敏元件接收并产生脉冲信号,该脉冲信号被输出并放大,然后进行数字信号处理,通过与标准粒子信号进行比较,将对比结果用不同的参数表示出来。仪器的测量参数设定、测量结果显示、按键、定时、打印、时间、日期、数据存储等均由内置微机控制和实现,仪器可同时显示环境的温湿度并监测报告激光粒子传感器的工作状态。